T1173
半導体装置向け大口径PEEKチューブ
半導体洗浄装置の配管に実績のある口径の大きい(外径3.18mm)PEEKチューブです。チューブからのメタル成分溶出が極めて少ないこと(例:Cu 0.08μg/L)チューブ内のパーティクルが極めて少ないこと(例:0.1μmが7.4個/mL)など、厳しい基準を満たしています。 /参考値機械強度に優れたPEEKチューブは、フッ素チューブとは段違いの高圧送液(20MPa以上)が可能です。時間あたり大量の洗…
品名 |
半導体装置向け大口径PEEKチューブ |
内径 |
1.59mm〜2.1mm
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外径 |
3.18mm〜3.18mm
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耐熱温度 |
〜260℃ |
特徴 |
半導体洗浄装置の配管に実績のある口径の大きい(外径3.18mm)PEEKチューブです。 |
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